标准筛选

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标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 29057-2023用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程现行2023-08-062024-03-01
GB/T 4061-2009硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法现行2009-10-302010-06-01
T/SHXCL 0021-2024温差电致冷组件用晶棒现行2024-06-282024-07-30
T/CSTM 01199-2024多层金属薄膜 层结构测量分析方法 X射线光电子能谱现行2024-01-052024-04-05
YS/T 986-2014晶片正面系列字母数字标志规范现行2014-10-142015-04-01
YS/T 985-2014硅抛光回收片现行2014-10-142015-04-01
YS/T 28-2015硅片包装废止2015-04-302015-10-01
YS/T 679-2008非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法废止2008-03-122008-09-01
GB/T 14264-1993半导体材料术语废止1993-03-201993-12-01
GB/T 14844-1993半导体材料牌号表示方法废止1993-12-301994-09-01
GB/T 14139-2009硅外延片废止2009-10-302010-06-01
GB/T 6616-2009半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 24581-2009低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 1551-2009硅单晶电阻率测定方法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 24582-2009酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质废止2009-10-302010-06-01
GB/T 1555-2009半导体单晶晶向测定方法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 1553-2009硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 14146-2009硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法废止2009-10-302010-06-01
GB/T 14264-2009半导体材料术语废止2009-10-302010-06-01