主要技术内容
本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。
Multilayer metal film-Measurement and analysis method of layer structure-X-ray photoelectron spectroscopy
现行
2024-01-05
2024-04-05
T/CSTM 01199-2024
中关村材料试验技术联盟
否
H80
29.045
M745 质检技术服务
团体标准
本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。 本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。
本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。
季华实验室、中国科学院上海硅酸盐研究所、广东工业大学、中国计量科学研究院、宁波新材料测试评价中心有限公司、中材新材料研究院（广州）有限公司
范燕、卓尚军、严楷、王双、李林清、王海、杨秋，江柯敏、刘海全、谭晓逸、谭军、白敬胜
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| DB11/T 247-2021 | 地下水数据库表结构 | 现行 | 2021-12-28 | 2022-04-01 |
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| GB/T 36130-2018 | 铁塔结构用热轧钢板和钢带 | 现行 | 2018-05-14 | 2019-02-01 |
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| GB/T 16656.52-2023 | 工业自动化系统与集成 产品数据表达与交换 第52部分：集成通用资源：基于网格的拓扑结构 | 现行 | 2023-09-07 | 2024-04-01 |
| GB/T 21140-2017 | 非结构用指接材 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GA/T 974.70-2011 | 消防信息代码 第70部分：建筑物结构类型代码 | 现行 | 2011-12-12 | 2011-12-12 |
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| GB/T 42441-2023 | 仿生学 仿生材料、结构和构件 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| DB11/T 1190.2-2018 | 古建筑结构安全性鉴定技术规范 第2部分：石质构件 | 现行 | 2018-12-17 | 2019-04-01 |
| GB/T 37502-2019 | 电真空器件结构材料用铜镍合金棒 | 现行 | 2019-06-04 | 2020-05-01 |
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| SL 458-2009 | 水利科技信息数据库表结构及标识符标准 | 现行 | 2009-12-04 | 2010-03-04 |
| DB61/T 480-2009 | 单面日光温室采光结构参数 | 废止 | 2009-12-17 | 2009-12-30 |
| GB/T 28387.1-2012 | 印刷机械和纸加工机械的设计及结构安全规则 第1部分：一般要求 | 现行 | 2012-05-11 | 2012-10-01 |
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