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标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 14144-2009硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法现行2009-10-302010-06-01
GB/T 24580-2009重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法现行2009-10-302010-06-01
GB/T 30110-2013空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法现行2013-12-172014-05-15
GB/T 8756-2018锗晶体缺陷图谱现行2018-12-282019-07-01
GB/T 29505-2013硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法现行2013-05-092014-02-01
GB/T 34479-2017硅片字母数字标志规范现行2017-10-142018-07-01
GB/T 16596-2019确定晶片坐标系规范现行2019-03-252020-02-01
GB/T 4058-2009硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法现行2009-10-302010-06-01
GB/T 6617-2009硅片电阻率测定 扩展电阻探针法现行2009-10-302010-06-01
GB/T 26066-2010硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法现行2011-01-102011-10-01
YS/T 838-2012碲化镉现行2012-11-072013-03-01
DB65/T 3486-2013太阳能级多晶硅块红外探伤检测方法废止2013-10-202013-12-01
GB/T 37051-2018太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法现行2018-12-282019-04-01
GB/T 14847-2010重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法废止2011-01-102011-10-01
DB65/T 3485-2013太阳能级多晶硅块少数载流子寿命测量方法废止2013-09-202013-12-01
GB/T 35316-2017蓝宝石晶体缺陷图谱现行2017-12-292018-07-01
GB/T 30453-2013硅材料原生缺陷图谱现行2013-12-312014-10-01
GB/T 14141-2009硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法现行2009-10-302010-06-01
GB/T 25075-2010太阳能电池用砷化镓单晶废止2010-09-022011-04-01
GB/T 14264-2024半导体材料术语现行2024-04-252024-11-01