Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试光学反射法 | 现行 | 2022-03-01 | 相似 |
| GB/T 33051-2016 | 光学功能薄膜表面硬化薄膜 硬化层厚度测定方法 | 现行 | 2017-05-01 | 相似 |
| GB/T 42674-2023 | 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法 | 现行 | 2024-03-01 | 相似 |
| GB/T 29507-2013 | 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 | 现行 | 2014-02-01 | 相似 |
| GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 相似 |
| GB/T 30869-2014 | 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法 | 现行 | 2015-02-01 | 相似 |
| GB/T 33399-2016 | 光学功能薄膜 聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜厚度测定方法 | 现行 | 2017-07-01 | 相似 |
| GB/T 6616-2009 | 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 | 废止 | 2010-06-01 | 相似 |
| HG/T 6204-2023 | 光学聚酯薄膜表面低聚物的测试方法 | 现行 | 2024-07-01 | 相似 |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2024-03-01 | 相似 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 相似 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法（外文版EN） | 现行 | 相似 | |
| GB/T 24578-2015 | 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 | 废止 | 2017-01-01 | 相似 |
| GB/T 33398-2016 | 光学功能薄膜 聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜表面电阻测定方法 | 现行 | 2017-07-01 | 相似 |
| T/CPIA 0036.1-2022 | 光伏组件用定向反射光学薄膜 第1部分：用于涂锡焊带表面的薄膜 | 现行 | 2022-04-15 | —— |
| YS/T 839-2012 | 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法 | 现行 | 2013-03-01 | 相似 |
| T/XAI 8-2021 | 覆晶薄膜化锡厚度测试方法 库仑法 | 现行 | 2021-04-16 | —— |