硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

GB/T 32814-2016 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2016-08-29

实施日期

2017-03-01

基础信息

标准号

GB/T 32814-2016

批准发布部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

GB/T 32814-2016 相关专题

储能 EMS 标准最新整理

GB/T 32814-2016 相似标准

标准号	标准名称	状态	发布日期	实施日期
GB/T 13388-2009	硅片参考面结晶学取向X射线测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
HG/T 5962-2021	硅片切割废液处理处置方法	现行	2021-08-21	2022-02-01
GB/T 42789-2023	硅片表面光泽度的测试方法	现行	2023-08-06	2024-03-01
T/CPIA 0061-2024	质量分级及“领跑者”评价要求光伏硅片	现行	2024-03-10	2024-03-15
GB/T 6617-2009	硅片电阻率测定扩展电阻探针法	现行	2009-10-30	2010-06-01
SJ/T 11628-2016	太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
SJ/T 11627-2016	太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
SJ/T 11632-2016	太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
SJ/T 11631-2016	太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
GB/T 19922-2005	硅片局部平整度非接触式标准测试方法	现行	2005-09-19	2006-04-01
DB31/T 792-2026	硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额	现行	2026-02-14	2026-06-01
T/CPIA 0057-2024	光伏硅片多线切割机技术要求	现行	2024-03-10	2024-03-15
T/CPIA 0037-2022	光伏晶体硅片规范	现行	2022-03-30	2022-04-15
GB/T 19444-2025	硅片氧沉淀特性的测试间隙氧含量减少法	现行	2025-06-30	2026-01-01
GB/T 26067-2010	硅片切口尺寸测试方法	现行	2011-01-10	2011-10-01
YS/T 26-2016	硅片边缘轮廓检验方法	现行	2016-07-11	2017-01-01
GB/T 26068-2018	硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法	现行	2018-12-28	2019-11-01
GB/T 6619-2009	硅片弯曲度测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
SJ/T 11630-2016	太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法	现行	2016-04-05	2016-09-01
SJ/T 10627-1995	通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法	现行	1995-04-22	1995-10-01
YB/T 4397-2014	切割硅片用电镀黄铜钢丝	现行	2014-05-06	2014-10-01
GB/T 11073-2025	硅片径向电阻率变化测量方法	即将实施	2025-10-31	2026-05-01
GB/T 6621-2009	硅片表面平整度测试方法	现行	2009-10-30	2010-06-01
GB/T 43315-2023	硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法	现行	2023-11-27	2024-06-01
T/CPIA 0022-2020	光伏硅片制造业绿色工厂评价要求	现行	2020-03-10	2020-03-20
GB/T 28577-2021	冷链物流分类与基本要求	现行	2021-11-26	2022-06-01