硅片氧沉淀特性的测试间隙氧含量减少法

Test method for oxygen precipition characteristics of silicon wafers—Interstitial oxygen reduction

GB/T 19444-2025 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2025-06-30

实施日期

2026-01-01

基础信息

标准号

GB/T 19444-2025

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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