Test method for oxygen precipition characteristics of silicon wafers—Interstitial oxygen reduction
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 19444-2025 | 硅片氧沉淀特性的测试间隙氧含量减少法 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |
| SJ/T 10627-1995 | 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法 | 现行 | 1995-04-22 | 1995-10-01 |
| GB/T 19444-2004 | 硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法 | 废止 | 2004-02-05 | 2004-07-01 |
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-10-11 | 2021-09-01 |
| GB/T 26067-2010 | 硅片切口尺寸测试方法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 29507-2013 | 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 | 现行 | 2013-05-09 | 2014-02-01 |
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 19922-2005 | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 | 现行 | 2005-09-19 | 2006-04-01 |
| GB/T 32280-2022 | 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 6618-2009 | 硅片厚度和总厚度变化测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 13388-2009 | 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 6619-2009 | 硅片弯曲度测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 30869-2014 | 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 26068-2018 | 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-11-01 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 42907-2023 | 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |