表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染

Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

GB/T 40110-2021 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2021-05-21

实施日期

2021-12-01

基础信息

标准号

GB/T 40110-2021

批准发布部门

中国科学院

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

标准层级

国家标准

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