Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 30701-2014 | 表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定 | 现行 | 2014-12-01 | 找相似 |
| GB/T 42360-2023 | 表面化学分析 水的全反射X射线荧光光谱分析 | 现行 | 2023-07-01 | 找相似 |
| GB/T 40110-2021 | 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 | 现行 | 2021-12-01 | 找相似 |
| GB/T 24578-2024 | 半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法 | 现行 | 2025-02-01 | 找相似 |
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| SN/T 4668-2016 | 进出口纺织品 纤维定性分析 天然彩色棉 紫外漫反射光谱法 | 现行 | 2017-07-01 | 找相似 |
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| GB/T 19502-2023 | 表面化学分析 辉光放电发射光谱方法通则 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
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| GB/T 19502-2004 | 表面化学分析 辉光放电发射光谱方法通则 | 废止 | 2004-12-01 | 找相似 |
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| SN/T 3322.1-2012 | 进出口钛精矿化学分析方法 第1部分：主次成分的测定 波长色散X射线荧光光谱法 | 现行 | 2013-07-01 | 找相似 |