Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
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| GB/T 6619-2009 | 硅片弯曲度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
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