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硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

GB/T 32814-2016推荐性国家标准

现行

上传时间：2026-02-27
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GB/T 32814-2016 相似标准 第1页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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