Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| YB/T 4397-2014 | 切割硅片用电镀黄铜钢丝 | 现行 | 2014-05-06 | 2014-10-01 |
| JC/T 2065-2011 | 太阳能电池硅片用石英舟 | 现行 | 2011-12-20 | 2012-07-01 |
| JC/T 2066-2011 | 太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管 | 现行 | 2011-12-20 | 2012-07-01 |
| HG/T 5962-2021 | 硅片切割废液处理处置方法 | 现行 | 2021-08-21 | 2022-02-01 |
| GB/T 37051-2018 | 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-04-01 |
| GB/T 43315-2023 | 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法 | 现行 | 2023-11-27 | 2024-06-01 |
| DB31/T 792-2026 | 硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额 | 现行 | 2026-02-14 | 2026-06-01 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 40110-2021 | 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| SJ/T 10627-1995 | 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法 | 现行 | 1995-04-22 | 1995-10-01 |
| DB13/T 1314-2010 | 太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片 | 现行 | 2010-11-15 | 2010-11-25 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 42907-2023 | 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 30859-2014 | 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| DB31/ 792-2020 | 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 | 有更新版 | 2020-03-25 | 2020-06-01 |
| GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | 废止 | 2007-09-11 | 2008-02-01 |
| GB/T 29055-2019 | 太阳能电池用多晶硅片 | 现行 | 2019-06-04 | 2020-05-01 |
| GB/T 19444-2025 | 硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |