Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CSTE 0535-2024 | 质量分级及“领跑者”评价要求 光伏硅片 | 现行 | 2024-03-10 | 2024-03-15 |
| GB/T 47906-2026 | 300mm硅片表面纳米形貌的评价方法 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| GB/T 14140-2009 | 硅片直径测量方法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| YS/T 28-2015 | 硅片包装 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| YS/T 28-1992 | 硅片包装 | 废止 | 1992-03-09 | 1993-01-01 |
| YS/T 26-1992 | 硅片边缘轮廓检验方法 | 废止 | 1992-03-09 | 1993-01-01 |
| DB61/T 512-2011 | 太阳电池用单晶硅片检验规则 | 废止 | 2011-04-20 | 2011-05-01 |
| GB/T 19444-2004 | 硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法 | 废止 | 2004-02-05 | 2004-07-01 |
| GB/T 6616-2009 | 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 26068-2010 | 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 | 废止 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 29055-2012 | 太阳电池用多晶硅片 | 废止 | 2012-12-31 | 2013-10-01 |
| GB/T 32280-2015 | 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 | 废止 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 24578-2015 | 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 | 废止 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| T/ZZB 0594-2018 | 硅片用电镀金刚石切割线 | 现行 | 2018-10-12 | 2018-10-31 |
| YS/T 28-2024 | 硅片包装和标志 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| DB31/ 792-2014 | 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 | 有更新版 | 2014-04-15 | 2014-08-01 |
| T/ZZB 0594-2023 | 硅片用电镀金刚石切割线 | 现行 | 2023-10-20 | 2023-11-01 |
| DB63/T 2467-2025 | 多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范 | 现行 | 2025-09-24 | 2025-11-01 |