Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-10-11 | 2021-09-01 |
| GB/T 32281-2015 | 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 11073-2025 | 硅片径向电阻率变化测量方法 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| T/CPIA 0061-2024 | 质量分级及“领跑者”评价要求 光伏硅片 | 现行 | 2024-03-10 | 2024-03-15 |
| T/CPIA 0091-2024 | 温室气体 产品碳足迹量化方法与要求 光伏硅片 | 现行 | 2024-12-15 | 2024-12-30 |
| T/CPIA 0038-2022 | 光伏硅片切割用电镀金刚石线 | 现行 | 2022-03-30 | 2022-04-15 |
| T/CPIA 0037-2022 | 光伏晶体硅片规范 | 现行 | 2022-03-30 | 2022-04-15 |
| T/ZZB 0594-2018 | 硅片用电镀金刚石切割线 | 现行 | 2018-10-12 | 2018-10-31 |
| GB/T 29055-2019 | 太阳能电池用多晶硅片（外文版EN） | 现行 | 2022-12-28 | |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法（外文版EN） | 现行 | 2024-04-12 | |
| YS/T 26-2016 | 硅片边缘轮廓检验方法 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| SJ/T 11628-2016 | 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11627-2016 | 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11632-2016 | 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11630-2016 | 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11631-2016 | 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11629-2016 | 太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |