微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

GB/T 42897-2023 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2023-08-06

实施日期

2023-12-01

基础信息

标准号

GB/T 42897-2023

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L59

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

专题

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