Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
现行
2023-08-06
2023-12-01
GB/T 42897-2023
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
L59
31.200
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 2900.104-2021 | 电工术语 微机电装置 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 41853-2022 | 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 | 现行 | 2022-10-12 | 2022-10-12 |
| GB/T 44842-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2024-10-26 |
| GB/T 47562-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-08-01 |
| GB/T 32817-2016 | 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 42597-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| DL／T 624-2023 | 继电保护微机型试验装置技术条件 | 现行 | 2023-05-26 | 2023-11-26 |
| DL/T 624-2010 | 继电保护微机型试验装置技术条件 | 现行 | 2011-01-09 | 2011-05-01 |
| GB/T 26111-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 术语 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 44531-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范 | 现行 | 2024-09-29 | 2024-09-29 |
| GB/T 44839-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2025-02-01 |
| GB/T 26112-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 31531-2025 | 染料及纺织染整助剂产品中喹啉及异喹啉的测定 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |