现行
1990-04-10
1990-05-01
0068-1996
2014-12-26
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 6149-1992 | 微机化平衡机所用的符号和彩色显示器上的推荐色 | 现行 | 1992-05-15 | 1993-01-01 |
| QC/T 1292-2026 | 车载微机电系统（MEMS）激光雷达通用要求 | 即将实施 | 2026-06-01 | 2026-12-01 |
| GB/T 47719-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法 | 即将实施 | 2026-05-25 | 2026-09-01 |
| GB/T 47562-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片 | 即将实施 | 2026-04-30 | 2026-08-01 |
| GB/T 44531-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范 | 现行 | 2024-09-29 | 2024-09-29 |
| GB/T 32817-2016 | 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 42897-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 44842-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2024-10-26 |
| GB/T 44839-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2025-02-01 |
| GB/T 42597-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 26111-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 术语 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 41853-2022 | 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 | 现行 | 2022-10-12 | 2022-10-12 |
| DL/T 624-2010 | 继电保护微机型试验装置技术条件 | 现行 | 2011-01-09 | 2011-05-01 |
| GB/T 2900.104-2021 | 电工术语 微机电装置 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 26112-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| DL／T 624-2023 | 继电保护微机型试验装置技术条件 | 现行 | 2023-05-26 | 2023-11-26 |
| CB/T 3930-1999 | 船用收信多路耦合器技术条件 | 现行 | 1999-06-01 | 1999-06-01 |