Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices
现行
2021-10-11
2022-05-01
GB/T 2900.104-2021
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
K04
01.040.29
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 32817-2016 | 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 42897-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 44842-2024 | 微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2024-10-26 |
| GB/T 44839-2024 | 微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 2025-02-01 |
| GB/T 42597-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 26111-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 术语 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 41853-2022 | 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 | 现行 | 2022-10-12 | 2022-10-12 |
| DL/T 624-2010 | 继电保护微机型试验装置技术条件 | 现行 | 2011-01-09 | 2011-05-01 |
| GB/T 26112-2010 | 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| DL/T 624-2023 | 继电保护微机型试验装置技术条件 | 现行 | 2023-05-26 | 2023-11-26 |
| GB/T 3836.28-2021 | 爆炸性环境 第28部分:爆炸性环境用非电气设备 基本方法和要求 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/Z 41117-2021 | 紧固件 钢制紧固件氢脆基本原理 | 现行 | 2021-12-31 |