Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
现行
2016-08-29
2017-03-01
GB/T 32817-2016
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
L55
31.080.99
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 42897-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
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| GB/T 42597-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
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| GB/T 41853-2022 | 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 | 现行 | 2022-10-12 | 2022-10-12 |
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| DL/T 624-2023 | 继电保护微机型试验装置技术条件 | 现行 | 2023-05-26 | 2023-11-26 |
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| GB/T 32348.2-2015 | 工业和商业用电阻式伴热系统 第2部分:系统设计安装和维护应用指南 | 现行 | 2015-12-31 | 2016-07-01 |