微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

GB/T 26112-2010推荐性国家标准

现行

更新日期:2026-02-27

标准状态

发布日期

2011-01-10

实施日期

2011-10-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

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