微机电系统(MEMS)技术 术语

Micro-electromechanical system technology - Terms

GB/T 26111-2010推荐性国家标准

废止

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更新日期:2026-08-08

标准状态

发布日期

2011-01-10

实施日期

2011-10-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

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