Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
现行
2023-08-06
2023-12-01
GB/T 42895-2023
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
L59
31.200
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 34899-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| DB11/T 2077-2023 | 城市副中心 新型电力系统10kV及以下配电网设施配置技术规范 | 现行 | 2023-03-30 | 2023-07-01 |