Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
2023-08-06
2023-12-01
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| DB11/T 2077-2023 | 城市副中心 新型电力系统10kV及以下配电网设施配置技术规范 | 现行 | 2023-03-30 | 2023-07-01 |
| GB/T 48095-2026 | 高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法 | 即将实施 | 2026-08-28 | 2027-03-01 |