微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

GB/T 34899-2017推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-03-09

标准状态

发布日期

2017-11-01

实施日期

2018-05-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

GB/T 34899-2017 相关专题

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