高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法

Measurement method for topographic parameters of high-aspect-ratio microstructures utilize microscopic interferometry

GB/T 48095-2026推荐性国家标准

即将实施

更新日期:2026-09-25

标准状态

发布日期

2026-08-28

实施日期

2027-03-01

基础信息

标准号

GB/T 48095-2026

批准发布部门

中国科学院

技术归口

中国科学院

标准分类

中国标准分类号

L50

国际标准分类号

17.180.99

标准层级

国家标准

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