Measurement method for topographic parameters of high-aspect-ratio microstructures utilize microscopic interferometry
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 48095-2026 | 高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法 | 即将实施 | 2027-03-01 | 相似 |
| T/ZOIA 30001-2022 | MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法 | 现行 | 2022-12-29 | —— |
| GB/T 5594.8-2015 | 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 第8部分：显微结构的测定方法 | 现行 | 2016-01-01 | 相似 |
| YB/T 6045-2022 | 炭素材料显微结构测定方法 | 现行 | 2023-04-01 | 相似 |
| YB/T 6506-2026 | 针状焦显微结构测定方法 | 即将实施 | 2026-12-01 | 相似 |
| GB/T 28873-2012 | 纳米颗粒生物形貌效应的环境扫描电子显微镜检测方法通则 | 现行 | 2013-02-15 | 相似 |
| GB/T 46972-2026 | 纳米技术 外泌体形貌和尺寸测量 原子力显微术 | 即将实施 | 2026-08-01 | 相似 |
| GB/T 19816.5-2005 | 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理用金属磨料的试验方法 第5部分:缺陷颗粒百分比和微结构的测定 | 现行 | 2006-04-01 | 相似 |
| GB/T 42674-2023 | 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法 | 现行 | 2024-03-01 | 相似 |
| YY/T 1577-2017 | 组织工程医疗器械产品 聚合物支架微结构评价指南 | 现行 | 2018-09-01 | 相似 |
| GB/T 34893-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 | 现行 | 2018-05-01 | 相似 |
| GB/T 34899-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 | 现行 | 2018-05-01 | 相似 |
| GB/T 34894-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 | 现行 | 2018-05-01 | 相似 |
| GB/T 34900-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 | 现行 | 2018-05-01 | 相似 |
| GB/T 42895-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 现行 | 2023-12-01 | 相似 |
| DB51/T 2047-2015 | 微结构光学模辊 | 废止 | 2015-10-01 | 相似 |
| DB32/T 1339-2009 | 纸浆纤维内部超微结构变化的检验方法 | 废止 | 2009-05-28 | 相似 |
| T/FDSA 002-2019 | 仿生微结构表面物理抗污染效果检测 方法 | 现行 | 2019-08-10 | —— |