主要技术内容
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
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现行
2022-12-29
2022-12-29
T/ZOIA 30001-2022
中关村光电产业协会
团体标准
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CSBX 0017-2022 | 改性聚乙烯六棱结构壁管 | 现行 | 2022-12-30 | 2022-12-31 |
| T/CSPSTC 109-2022 | 沉管隧道结构服役性能评定及维养技术规程 | 现行 | 2022-12-22 | 2023-03-01 |
| T/QGCML 1815-2023 | 汽车天窗排水管连接结构 | 现行 | 2023-10-25 | 2023-11-15 |
| T/QGCML 1809-2023 | 设有防护结构的装饰条检具 | 现行 | 2023-10-26 | 2023-11-14 |
| T/CSPSTC 89-2022 | 地下交通枢纽运营期结构健康监测技术规程 | 现行 | 2022-06-09 | 2022-07-08 |
| T/CSTM 00503.1-2023 | 晶体硅光伏组件与压型钢板一体化构件 第1部分：硅酮结构密封胶连接方式 | 现行 | 2023-11-17 | 2024-02-17 |
| T/QGCML 2343-2023 | 深部地层电性结构探测 | 现行 | 2023-11-27 | 2023-12-12 |
| T/QGCML 2908-2023 | 具有分层结构配电柜 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-01-12 |
| T/ZSA 174-2023 | 增材制造 激光粉末床熔融金属轻量化特征结构承力件拉伸性能评价方法 | 现行 | 2023-11-09 | 2023-11-10 |
| T/ZZB 3389-2023 | 玻璃纤维结构膜材 | 现行 | 2023-11-10 | 2023-11-25 |
| T/GDIOT 007-2024 | 半潜运输装备压排载结构超声检测技术规范 | 现行 | 2023-09-28 | 2023-09-28 |
| T/CEEIA 501-2021 | 陆上风力发电机组基础及塔架结构监测系统技术规范 | 现行 | 2021-06-07 | 2021-06-07 |
| T/CCTAS 67-2023 | 桥梁水下结构声呐法检测技术规程 | 现行 | 2023-12-07 | 2023-12-31 |
| T/CCTAS 68-2023 | 桥梁结构形变毫米波雷达法检测技术规程 | 现行 | 2023-12-07 | 2023-12-31 |
| T/CFA 010202.1-2017 | 低温用高韧性低合金结构铸钢件 | 现行 | 2017-11-15 | 2018-02-15 |
| T/ZZB 1967-2020 | 免焊装配式建筑幕墙支承结构 | 现行 | 2020-11-27 | 2020-12-01 |
| T/CSBX 0011-2021 | 纤维增强聚丙烯（PP）多层同步缠绕结构壁管材 | 现行 | 2021-06-04 | 2021-06-07 |
| T/CSCS 14-2021 | 型钢混凝土异形柱结构技术标准 | 现行 | 2021-07-28 | 2021-11-01 |
| T/CSPSTC 68-2021 | 地铁盾构隧道结构修复加固技术规程 | 现行 | 2021-10-12 | 2021-11-01 |
| T/STSI 1-2019 | 团体标准的结构和编写规则 | 现行 | 2019-09-09 | 2019-09-09 |
| T/CSPSTC 43-2019 | 城市轨道交通地下结构健康检测监测技术规范 | 现行 | 2019-12-26 | 2020-04-01 |
| T/CSCM 02-2020 | 无机晶须增强高密度聚乙烯(HDPE-IW)六棱结构壁管材 | 现行 | 2020-06-28 | 2020-09-01 |
| T/CSPSTC 67-2021 | 基于北斗的城市地质灾害和基础设施结构安全监测技术规范 | 现行 | 2021-10-12 | 2021-11-01 |
| T/JSREA 3004-2024 | 大跨度弧形网架结构分布式光伏项目建设安全要求 | 现行 | 2024-12-04 | 2025-01-04 |
| T/HNKCSJ 011-2024 | 锯齿形装配式混凝土剪力墙结构技术标准 | 现行 | 2024-01-18 | 2024-04-18 |
| T/CAB 0209-2022 | 电动摩托车用户工况能量消耗率和续驶里程试验方法 | 现行 | 2022-12-30 | 2022-12-30 |
| T/ZGZS 0304-2022 | 危险废物高温熔融处理污染控制技术规范 | 现行 | 2022-12-29 | 2022-12-29 |
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