主要技术内容
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
现行
2022-12-29
2022-12-29
T/ZOIA 30001-2022
中关村光电产业协会
团体标准
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| DB61/T 1288-2019 | 桥梁结构预应力检测技术规程 | 废止 | 2019-11-27 | 2019-12-27 |
| DB33/T 310019-2024 | 盾构隧道运营期结构安全评价与病害处置技术规程 | 现行 | 2024-01-14 | 2024-05-01 |
| GB/T 40048-2021 | 木质结构材螺栓连接力学性能测试方法 | 现行 | 2021-04-30 | 2021-11-01 |
| T/ZZB 3762-2024 | 轨道交通车辆结构用6061、6063铝合金挤压型材 | 现行 | 2024-07-22 | 2024-08-22 |
| DL/T 899-2012 | 架空线路杆塔结构荷载试验 | 废止 | 2012-08-23 | 2012-12-01 |
| GB/T 12055-1989 | 信息处理 信息交换用的盒式磁带和卡式磁带的标号和文卷结构 | 现行 | 1989-12-29 | 1990-07-01 |
| GB/T 19067.2-2004 | 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法测量标准 第2部分:软件测量标准 | 现行 | 2004-11-11 | 2005-07-01 |
| JR/T 0094.3-2012 | 中国金融移动支付 近场支付应用 第3部分：报文结构及要素 | 现行 | 2012-12-12 | 2012-12-12 |
| T/CSPSTC 43-2019 | 城市轨道交通地下结构健康检测监测技术规范 | 现行 | 2019-12-26 | 2020-04-01 |
| GB/T 1457-2022 | 夹层结构滚筒剥离强度试验方法 | 现行 | 2022-04-15 | 2022-11-01 |
| DB41/T 3085-2025 | 公路桥梁钢混组合结构质量检验指南 | 现行 | 2025-12-26 | 2026-03-25 |
| DB63/T 2010.6-2022 | 涉路行为标准化规范 第6部分：公路结构物利用技术 | 现行 | 2022-01-07 | 2022-03-01 |
| DB11/T 1492-2017 | 城镇排水管道结构等级评定 | 现行 | 2017-12-15 | 2018-04-01 |
| JB 5723-1991 | 单锯片手动进给木工圆锯机结构安全 | 现行 | 1991-10-04 | 1992-07-01 |
| GB/T 14041.1-2007 | 液压滤芯 结构完整性验证和初始冒泡点的确定 | 现行 | 2007-04-18 | 2007-11-01 |
| DB11/T 1840-2021 | 现浇混凝土结构工程和砌体结构工程施工过程模型细度标准 | 现行 | 2021-04-01 | 2021-07-01 |
| GB/T 33523.600-2025 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构：区域法 第600部分：区域形貌测量方法的计量特性 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-03-28 |
| GB 13094-2025 | 客车结构安全要求 | 即将实施 | 2025-12-31 | 2027-07-01 |
| GB/T 19290.7-2021 | 发展中的电子设备构体机械结构模数序列 第2-5部分：分规范 25 mm设备构体的接口协调尺寸 各种设备用机柜接口尺寸 | 现行 | 2021-10-11 | 2022-05-01 |
| GB/T 42441-2023 | 仿生学 仿生材料、结构和构件 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| FZ/T 63035-2016 | 聚酰胺复丝双层编织结构绳索 | 现行 | 2016-10-22 | 2017-04-01 |
| GB/T 33523.71-2020 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第71部分：软件测量标准 | 现行 | 2020-12-14 | 2021-07-01 |
| NB/T 20438-2017 | 非能动压水堆核电厂屏蔽厂房屋顶结构施工技术规程 | 现行 | 2017-04-01 | 2017-10-01 |
| GB/T 18704-2008 | 结构用不锈钢复合管 | 现行 | 2008-05-13 | 2008-11-01 |
| DB6105/T 202-2023 | 渭北钢骨架结构日光温室建造技术规程 | 现行 | 2023-12-08 | 2024-01-08 |
| T/CAB 0209-2022 | 电动摩托车用户工况能量消耗率和续驶里程试验方法 | 现行 | 2022-12-30 | 2022-12-30 |