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更新日期 2026‑10‑17
标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/ZOIA 30001-2022MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法现行2022-12-292022-12-29
GB/T 48095-2026高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法即将实施2026-08-282027-03-01