Measurement method for topographic parameters of high-aspect-ratio microstructures utilize microscopic interferometry
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 11114-1989 | 人造石英晶体位错的X 射线形貌检测方法 | 废止 | 1990-03-01 | 找相似 |
| GB/T 30705-2014 | 微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则 | 现行 | 2014-12-01 | 找相似 |
| GB/T 20726-2015 | 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法 | 废止 | 2016-09-01 | 找相似 |
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| JB/T 5586-1991 | 透射电子显微镜分类和基本参数 | 废止 | 1992-07-01 | 找相似 |
| GB/T 28872-2012 | 活细胞样品纳米结构的磁驱动轻敲模式原子力显微镜检测方法 | 现行 | 2013-02-15 | 找相似 |
| GB/Z 21738-2008 | 一维纳米材料的基本结构 高分辨透射电子显微镜检测方法 | 现行 | —— | 找相似 |
| GB/T 33523.603-2022 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性 | 现行 | 2023-04-01 | 找相似 |
| GB/T 34002-2017 | 微束分析 透射电子显微术 用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法 | 现行 | 2018-06-01 | 找相似 |
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| T/CSP 13-2024 | 颗粒技术 微纳米异质结构分析 透射电子显微镜法 | 现行 | 2024-11-25 | —— |
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| T/BSPT 6-2024 | 颗粒技术 微纳米异质结构分析 透射电子显微镜法 | 现行 | 2024-11-25 | —— |
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| GB/T 18618-2009 | 产品几何技术规（GPS） 表面结构 轮廓法 图形参数 | 现行 | 2010-09-01 | 找相似 |
| GB/T 33523.2-2017 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第2部分：术语、定义及表面结构参数 | 现行 | 2018-05-01 | 找相似 |
| GB/T 33848.1-2017 | 信息技术 射频识别 第1部分：参考结构和标准化参数定义 | 现行 | 2017-12-01 | 找相似 |
| GB/T 3505-2009 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数 | 现行 | 2009-11-01 | 找相似 |