Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 34893-2017 | 微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34894-2017 | 微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34900-2017 | 微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 44078-2024 | 光电系统中光学中心间距的测定 低相干干涉测量法 | 现行 | 2024-05-28 | 2024-12-01 |
| GB/T 7962.3-2010 | 无色光学玻璃测试方法 第3部分：光学均匀性 全息干涉法 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-05-01 |
| JB/T 8226.6-1999 | 光学零件镀膜 窄带干涉滤光膜 | 现行 | 1999-08-06 | 2000-01-01 |
| JB/T 13358-2018 | 光学薄膜带通干涉滤光片 | 现行 | 2018-04-30 | 2018-12-01 |
| GB/T 7962.2-2010 | 无色光学玻璃测试方法 第2部分：光学均匀性 斐索平面干涉法 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-05-01 |
| T/IAWBS 012-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| T/IAWBS 012-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| JB/T 8226.6-1995 | 光学零件镀膜 窄带干涉滤光膜 | 现行 | 1996-04-14 | 1996-04-14 |
| GB/T 18311.47-2026 | 纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第3-47部分：检查和测量 采用干涉法测量PC/APC球面抛光型插针的端面几何尺寸 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-09-01 |
| JR/T 0328-2025 | 基于合成孔径雷达干涉测量（InSAR）技术的建筑物保险风险减量应用规范 | 现行 | 2025-09-28 | 2025-09-28 |
| NB/T 51031-2015 | 机载干涉合成孔径雷达（InSAR）系统测制1:10 000 1:50 000 数字高程模型 数字正射影像图 数字线划图技术规程 | 现行 | 2015-04-02 | 2015-09-01 |
| T/GDAEPI 03-2019 | 固定污染源 挥发性有机物排放连续自动监测系统干涉增幅反射检测器（IER）法技术要求 | 现行 | 2019-08-30 | 2019-10-01 |
| DB14/T 3163-2024 | 公路边坡干涉雷达监测技术规程 | 废止 | 2024-10-08 | 2025-01-08 |
| GB/T 33523.603-2022 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 33523.604-2022 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |