Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| DB52/T 1213-2017 | 煤矿在用光干涉式甲烷测定器安全检查规范 | 废止 | 2017-08-18 | 2018-01-18 |
| GB/T 42559-2023 | 声学 干涉型光纤水听器相移灵敏度测量 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-12-01 |
| T/ZSA 131-2022 | 单轴干涉型光纤陀螺仪 | 现行 | 2022-12-15 | 2022-12-16 |
| MT/T 28-2005 | 光干涉式甲烷测定器 | 现行 | 2005-02-14 | 2005-06-01 |
| SY/T 7340-2016 | 立管干涉 | 现行 | 2016-12-05 | 2017-05-01 |
| JJF 2286-2025 | 干涉型光纤水听器相移灵敏度校准规范（差分延时外差解调法） | 现行 | 2025-09-08 | 2026-03-08 |
| JJF 2007-2022 | 光纤端面干涉仪校准规范 | 现行 | 2022-12-07 | 2023-06-07 |
| JJF 1913-2021 | 激光干涉比长仪校准规范 | 现行 | 2021-07-28 | 2022-01-28 |
| JB/T 8233-1999 | 立式接触式干涉仪 | 废止 | 1999-08-06 | 2000-01-01 |
| JB/T 8233-1995 | 立式接触式干涉仪 | 废止 | 1996-04-14 | 1996-04-14 |
| MT 28-1994 | 光干涉式甲烷测定器 | 废止 | 1995-05-12 | 1994-12-01 |
| MT 28-1994 | 光干涉式甲烷测定器 | 废止 | 1994-05-12 | 1994-12-01 |
| DB41/T 2290-2022 | 地面沉降干涉雷达监测规范 | 废止 | 2022-07-12 | 2022-10-10 |
| DB22/T 2651-2017 | 数字式激光球面干涉仪校准规范 | 废止 | 2017-06-12 | 2017-08-12 |
| KA/T 47-2005 | 光干涉式甲烷测定器 | 现行 | 2005-02-14 | 2005-06-01 |
| KA/T 1098-2009 | 煤矿用光干涉式甲烷气体传感器 | 现行 | 2009-12-11 | 2010-07-01 |
| MT/T 1098-2009 | 煤矿用光干涉式甲烷气体传感器 | 现行 | 2009-12-11 | 2010-07-01 |
| JB 5610-1991 | 双频激光干涉仪 | 现行 | 1991-07-16 | 1992-07-01 |