Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| MT 424-1995 | 光干涉式甲烷测定器校准仪通用技术条件 | 现行 | 1995-10-05 | 1995-12-01 |
| KA/T 424-1995 | 光干涉式甲烷测定器校准仪通用技术条件 | 现行 | 1995-10-05 | 1995-12-01 |
| DB23/T 1528-2013 | 快速动态双频激光干涉仪技术规程 | 现行 | 2013-10-11 | 2013-11-11 |
| T/CECS 1165-2022 | 建筑安全星载干涉雷达监测技术规程 | 现行 | 2022-09-20 | 2023-02-01 |
| HB 8378-2013(2017) | 钛合金干涉型短螺纹小六角头螺栓 | 现行 | 2013-10-13 | 2014-03-01 |
| HB 8380-2013(2017) | 钛合金干涉型100°沉头螺栓 | 现行 | 2013-10-13 | 2014-03-01 |
| HB 8379-2013(2017) | 钛合金干涉型六角头螺栓 | 现行 | 2013-10-13 | 2014-03-01 |
| GB/T 8758-2006 | 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 | 现行 | 2006-07-18 | 2006-11-01 |
| GB/T 43881-2024 | 低膨胀玻璃线热膨胀系数试验方法 激光干涉法 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| GB/T 26328-2010 | 生物化学分析仪器用干涉滤光片 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-06-01 |
| GB/T 20485.15-2010 | 振动与冲击传感器校准方法 第15部分：激光干涉法角振动绝对校准 | 现行 | 2010-12-23 | 2011-06-01 |
| GB/T 20485.13-2007 | 振动与冲击传感器校准方法 第13部分: 激光干涉法冲击绝对校准 | 现行 | 2007-07-02 | 2007-12-01 |
| JB/T 13872-2020 | 平面相移干涉仪 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| JB/T 13360-2018 | 荧光检测分析用干涉滤光片 | 现行 | 2018-04-30 | 2018-12-01 |
| JB/T 5610-2006 | 激光干涉仪 | 废止 | 2006-10-04 | 2007-04-01 |
| GB/T 43313-2023 | 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 | 现行 | 2023-11-27 | 2024-06-01 |
| GB/T 45340-2025 | 金属及其他无机覆盖层 镀层厚度的测量 斐索多光束干涉法 | 现行 | 2025-02-28 | 2025-09-01 |
| GB/T 20485.11-2006 | 振动与冲击传感器校准方法 第11部分：激光干涉法振动绝对校准 | 现行 | 2006-09-12 | 2007-02-01 |