Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ZSA 220-2024 | 干涉型光纤水听器 | 现行 | 2024-03-08 | 2024-03-09 |
| JB/T 5610-2025 | 激光干涉仪 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| JJG 812-1993 | 干涉滤光片 | 现行 | 1993-02-13 | 1993-06-01 |
| JJG 661-2004 | 平面等倾干涉仪 | 现行 | 2004-09-21 | 2005-03-21 |
| JJG 101-2004 | 接触式干涉仪 | 现行 | 2004-09-21 | 2005-03-21 |
| JJG 77-2006 | 干涉显微镜 | 现行 | 2006-05-23 | 2006-11-23 |
| JJG 677-2006 | 光干涉式甲烷测定器 | 现行 | 2006-03-08 | 2006-09-08 |
| JJG 739-2005 | 激光干涉仪 | 现行 | 2005-10-09 | 2006-04-09 |
| JJG 371-2005 | 量块光波干涉仪 | 现行 | 2005-09-05 | 2006-03-05 |
| JJF 1163-2006 | 光干涉式甲烷测定器型式评价大纲 | 现行 | 2006-12-08 | 2007-01-01 |
| JJG 1040-2008 | 数字式光干涉甲烷测定器检定仪 | 现行 | 2008-03-25 | 2008-06-25 |
| JJF 1100-2016 | 平面等厚干涉仪校准规范 | 现行 | 2016-11-30 | 2017-05-30 |
| JJF 1739-2019 | 数字式激光球面干涉仪校准规范 | 现行 | 2019-09-27 | 2019-12-27 |
| GB/T 48095-2026 | 高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法 | 即将实施 | 2026-08-28 | 2027-03-01 |
| GB/T 34899-2017 | 微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 44531-2024 | 微机电系统（MEMS）技术基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范 | 现行 | 2024-09-29 | 2024-09-29 |
| T/GDEIIA 13-2021 | 基于数字仿真的可靠性测试方法 第4部分：机电系统综合评价方法 | 现行 | 2021-11-12 | 2021-11-13 |
| T/CI 214-2023 | 基于光学定位的种植牙机器人精准定位系统 | 现行 | 2023-12-07 | 2023-12-07 |