Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 32280-2022 | 硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法 | 现行 | 2022-10-01 | 找相似 |
| GB/T 32280-2015 | 硅片翘曲度测试自动非接触扫描法 | 废止 | 2017-01-01 | 找相似 |
| GB/T 6619-2009 | 硅片弯曲度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 30859-2014 | 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 31353-2014 | 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 | 现行 | 2015-09-01 | 找相似 |
| T/SSEA 0069-2020 | 棒材弯曲度测量方法 | 现行 | 2020-09-10 | —— |
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| GB/T 29507-2013 | 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法 | 现行 | 2014-02-01 | 找相似 |
| GB/T 19922-2005 | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 | 现行 | 2006-04-01 | 找相似 |
| GB/T 26068-2018 | 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 | 现行 | 2019-11-01 | 找相似 |
| GB/T 42907-2023 | 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 6616-2009 | 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 26068-2010 | 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 | 废止 | 2011-10-01 | 找相似 |
| GB/T 31352-2014 | 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 | 现行 | 2015-09-01 | 找相似 |
| YC/T 606-2024 | 烟丝长度、宽度、卷曲度的检测 图像法 | 现行 | 2024-05-01 | 找相似 |
| GB/T 6847-2012 | 影像材料 照相胶片和相纸 卷曲度的测定 | 现行 | 2013-08-01 | 找相似 |
| GB/T 31334.2-2015 | 浸胶帆布试验方法 第2部分：经向卷曲度和密度 | 现行 | 2015-06-01 | 找相似 |