硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry

GB/T 35306-2017推荐性国家标准

废止

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更新日期:2026-08-08

标准状态

发布日期

2017-12-29

实施日期

2018-07-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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