Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 35306-2023 | 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 35306-2017 | 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法 | 废止 | 2018-07-01 | 找相似 |
| GB/T 24581-2022 | 硅单晶中III、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法 | 现行 | 2022-10-01 | 找相似 |
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| GB/T 26065-2010 | 硅单晶抛光试验片规范 | 现行 | 2011-10-01 | 找相似 |
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