硅单晶电阻率测定方法

Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon

GB/T 1551-2009推荐性国家标准

废止

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 1551-2009硅单晶电阻率测定方法废止2010-06-01找相似
GB/T 1551-2021硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法现行2021-12-01找相似
GB/T 42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法现行2023-04-01找相似
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T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-31——
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T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-31——
GB/T 13389-2014掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程现行2015-09-01找相似
JJF 1760-2019硅单晶电阻率标准样片校准规范现行2020-03-27找相似
GB/T 26074-2010锗单晶电阻率直流四探针测量方法现行2011-10-01找相似
GB/T 11297.7-1989锑化铟单晶电阻率及霍耳系数的测试方法现行1990-01-01找相似
T/CASAS 036-2025碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法现行2025-04-23——
GB/T 35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法现行2024-03-01找相似
GB/T 24581-2022硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法现行2022-10-01找相似
GB/T 42263-2022硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法现行2023-04-01找相似
GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法现行2022-07-01找相似
YS/T 1600-2023碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法现行2023-11-01找相似
GB/T 30868-2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法废止2015-02-01找相似