Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 35306-2023 | 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 35306-2017 | 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法 | 废止 | 2017-12-29 | 2018-07-01 |
| GB/T 24581-2022 | 硅单晶中III、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 24581-2009 | 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 42263-2022 | 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 41153-2021 | 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| YS/T 1600-2023 | 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2023-04-21 | 2023-11-01 |
| T/NXCL 30-2024 | 300 mm低氧含量直拉硅单晶 | 现行 | 2024-02-06 | 2024-02-06 |
| T/NXCL 29-2024 | 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2024-02-06 | 2024-02-06 |
| GB/T 1551-2021 | 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| T/CASAS 036-2025 | 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法 | 现行 | 2025-04-23 | 2025-04-23 |
| GB/T 30868-2014 | 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 1551-2009 | 硅单晶电阻率测定方法 | 废止 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 12964-2018 | 硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-09-17 | 2019-06-01 |
| GB/T 26069-2022 | 硅单晶退火片 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 12962-2015 | 硅单晶 | 现行 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 26065-2010 | 硅单晶抛光试验片规范 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 26071-2018 | 太阳能电池用硅单晶片 | 废止 | 2018-09-17 | 2019-06-01 |