Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JC/T 2796-2023 | 碳化硅单晶用高纯石墨粉 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YS/T 1167-2016 | 硅单晶腐蚀片 | 现行 | 2016-07-11 | 2017-01-01 |
| SJ/T 11501-2015 | 碳化硅单晶晶型的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11494-2015 | 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11500-2015 | 碳化硅单晶晶向的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB 47835-2026 | 硅单晶单位产品能源消耗限额 | 即将实施 | 2026-06-27 | 2027-01-01 |
| JJF 1760-2019 | 硅单晶电阻率标准样片校准规范 | 现行 | 2019-09-27 | 2020-03-27 |
| GB/T 32278-2015 | 碳化硅单晶片平整度测试方法 | 废止 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 31351-2014 | 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 | 废止 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| GB/T 30866-2014 | 碳化硅单晶片直径测试方法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 30867-2014 | 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| SJ/T 11499-2015 | 碳化硅单晶电学性能的测试方法 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11502-2015 | 碳化硅单晶抛光片规范 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| DB15/T 2234-2021 | 直拉单晶硅单位产品能源消耗限额 | 废止 | 2021-07-23 | 2021-08-23 |
| GB/T 12964-2003 | 硅单晶抛光片 | 废止 | 2003-06-16 | 2004-01-01 |
| GB/T 12965-2005 | 硅单晶切割片和研磨片 | 废止 | 2005-09-19 | 2006-04-01 |