SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 11504-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

标准类别

方法标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50561-2015

备案日期

2015-07-08

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

丁丽、周智慧、蔺娴等

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