主要技术内容
本标准规定了功率器件用碳化硅外延片表面缺陷的无损光学测量方法。本标准适用于同质的超过（含）2微米厚的碳化硅外延层。
Test method of surface defects for silicon carbide epitaxial wafers
现行
2017-12-20
2017-12-31
T/IAWBS 002-2017
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
否
29.045
C398 电子元件及电子专用材料制造
团体标准
本标准规定了功率器件用碳化硅外延片表面缺陷的无损光学测量方法。本标准适用于同质的超过（含）2微米厚的碳化硅外延层。
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、全球能源互联网研究院有限公司、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、东莞市天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、西安电子科技大学、中国科学院半导体研究所
钮应喜、杨霏、温家良、吴军民、潘艳、陈志霞、刘丹、冯淦、张新河、田亮、田红林、吴昊、李玲、李永平、张文婷、李嘉琳、焦倩倩、李赟、王英民、贾仁需、刘兴昉、陆敏、彭同华、刘振洲
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 41153-2021 | 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| T/IAWBS 013-2019 | 半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| GB/T 47404-2026 | 碳化硅单晶 | 即将实施 | ||
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 21944.1-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 42271-2022 | 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| JC/T 2656-2022 | 碳化硅陶瓷制品 工业计算机层析成像(CT)检测 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 37254-2018 | 高纯碳化硅 微量元素的测定 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-09-01 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-06 | 2018-12-17 |
| GB/T 34520.8-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 21944.4-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分：烧嘴套 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 32278-2025 | 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| JC/T 2783-2023 | 石墨中碳化硅含量的测定方法 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YB/T 6113-2023 | 电加热炉碳化硅导热体 | 现行 | 2023-07-28 | 2024-02-01 |
| JB/T 8340-2013 | 碳化硅特种制品 重结晶碳化硅热电偶保护管 | 现行 | 2013-04-25 | 2013-09-01 |
| T/IAWBS 014-2021 | 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法 | 现行 | 2021-09-15 | 2021-09-22 |
| JC/T 2013-2010 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅板 | 现行 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| GB/T 34520.6-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 34520.4-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第4部分：束丝拉伸性能 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| JB/T 10645-2020 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 烧嘴套 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| JC/T 2149-2012 | 高纯碳化硅粉体成分分析方法 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| JB/T 13946-2020 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 悬臂桨 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| JC/T 2516-2019 | 砂磨机用反应烧结碳化硅内衬 | 现行 | 2019-05-02 | 2019-11-01 |
| GB/T 34520.9-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第9部分：碳含量 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| T/IAWBS 004-2017 | 电动汽车用功率半导体模块可靠性试验通用要求及试验方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |