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碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

GB/T 41153-2021 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2021-12-31

实施日期

2022-07-01

基础信息

标准号

GB/T 41153-2021

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

专题

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