碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

SJ/T 11503-2015SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 11503-2015

批准发布部门

工业和信息化部

制修订

制定

标准分类

标准类别

方法标准

标准分类

电子

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50560-2015

备案日期

2015-07-08

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

丁丽、何友琴、郑红军 等

SJ/T 11503-2015 相关专题

SJ/T 11503-2015 相似标准

标准号标准名称状态发布日期实施日期
SJ/T 11437-2015信息技术 移动存储 便携式数字音视频播放器通用规范现行2015-10-102016-04-01
SJ/T 12071-2025半导体器件 分立器件碳化硅二极管门类规范现行2025-12-192026-07-01
SJ/T 12070-2025半导体器件 分立器件 碳化硅二极管可靠性试验方法现行2025-12-192026-07-01
SJ/T 12069-2025半导体器件 分立器件 碳化硅二极管电参数测试方法现行2025-12-192026-07-01
SJ/T 12015-2025碳化硅颗粒铝合金基复合板现行2025-09-092026-03-01
JB/T 15530-2026碳化硅特种制品重结晶碳化硅辊棒即将实施2026-04-282026-11-02
T/IAWBS 021-2024碳化硅晶片边缘轮廓检验方法现行2024-04-012024-04-09
T/NXCL 001-2021精细陶瓷用亚微米碳化硅微粉现行2021-11-112021-11-11
T/NXCL 002-2021常压烧结碳化硅陶瓷防弹材料现行2021-11-112021-11-11
T/SAS 0008-2020轻量化碳化硅反射镜现行2020-11-202021-01-01
T/SAS 0009-2020轻量化碳化硅反射镜镜坯现行2020-11-202021-01-01
T/ZSA 72-2019碳化硅单晶现行2019-12-312020-03-01
T/CNIA 0011-2019气相沉积法碳化硅涂层现行2019-02-132019-06-01
T/IAWBS 005-20186 英寸碳化硅单晶抛光片现行2018-12-062018-12-17
T/CASAS 001-2018碳化硅肖特基势垒二极管通用技术规范现行2018-09-212018-09-21
DB62/ 2597-2015碳化硅单位产品能耗限额现行2015-10-162016-01-01
YS/T 1776-2025热敏打印用碳-碳化硅靶材现行2025-04-102025-11-01
JB/T 10891-2025碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 方梁现行2025-05-092025-11-01
JB/T 10698-2025碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 板现行2025-05-092025-11-01
T/IAWBS 003-2017碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法现行2017-12-202017-12-31