主要技术内容
本本件规定了用化学择优腐蚀结合图像识别法检测碳化硅晶片中位错密度的方法。本文件适用于4H及6H-SiC晶片材料中Si面位错检测及其密度统计，材料表面为化学机械抛光状态。
Measuring method for testing the density of dislocation in SiC crystalCombined KOH etching and image recognition methods
现行
2021-11-01
2021-12-01
T/CASAS 013-2021
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
否
31-030
C398 电子元件及电子专用材料制造
团体标准
本本件规定了用化学择优腐蚀结合图像识别法检测碳化硅晶片中位错密度的方法。 本文件适用于4H及6H-SiC晶片材料中Si面位错检测及其密度统计，材料表面为化学机械抛光状态。
本本件规定了用化学择优腐蚀结合图像识别法检测碳化硅晶片中位错密度的方法。本文件适用于4H及6H-SiC晶片材料中Si面位错检测及其密度统计，材料表面为化学机械抛光状态。
广州南砂晶圆半导体技术有限公司、山东大学、深圳第三代半导体研究院、广东芯聚能半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
陈秀芳、崔潆心、于金英、胡小波、于国建、徐现刚、杨安丽、朱贤龙、魏学成、赵璐冰
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 13309-2017 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅内衬与钢壳复合装置 | 现行 | 2017-11-07 | 2018-04-01 |
| GB/T 42271-2022 | 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| JC/T 2149-2012 | 高纯碳化硅粉体成分分析方法 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| GB/T 42902-2023 | 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| JC/T 2783-2023 | 石墨中碳化硅含量的测定方法 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| JB/T 3890-2017 | 碳化硅特种制品 硅碳棒 | 现行 | 2017-11-07 | 2018-04-01 |
| T/IAWBS 013-2019 | 半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| GB/T 32278-2025 | 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| GB/T 37254-2018 | 高纯碳化硅 微量元素的测定 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-09-01 |
| JB/T 10152-2023 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 板 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| GB/T 43885-2024 | 碳化硅外延片 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| JC/T 2346-2015 | 碳化硅陶瓷过滤器 | 现行 | 2015-07-14 | 2016-01-01 |
| JC/T 2656-2022 | 碳化硅陶瓷制品 工业计算机层析成像(CT)检测 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 21944.3-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 34520.4-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第4部分：束丝拉伸性能 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-06 | 2018-12-17 |
| T/ZZB 0686-2018 | 高性能无压烧结碳化硅密封环 | 现行 | 2018-11-02 | 2018-11-30 |
| GB/T 34520.8-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 34520.6-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| JB/T 10044-2015 | 碳化硅特种制品 硅碳管 | 现行 | 2015-10-10 | 2016-03-01 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 21944.2-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 21944.4-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分：烧嘴套 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| T/CASAS 014-2021 | 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |