主要技术内容
本文件规定了利用双晶 X 射线衍射仪测试碳化硅单晶片摇摆曲线半高宽的方法。本文件适用于物理气相传输及其它方法生长制备的碳化硅单晶片。本文件适用于在室温下碳化硅单晶片的正晶向和偏角度的摇摆曲线检测。
现行
2022-03-17
2022-03-24
T/IAWBS 016-2022
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
否
29.045
C398 电子元件及电子专用材料制造
团体标准
本文件规定了利用双晶 X 射线衍射仪测试碳化硅单晶片摇摆曲线半高宽的方法。 本文件适用于物理气相传输及其它方法生长制备的碳化硅单晶片。 本文件适用于在室温下碳化硅单晶片的正晶向和偏角度的摇摆曲线检测。
本文件规定了利用双晶 X 射线衍射仪测试碳化硅单晶片摇摆曲线半高宽的方法。本文件适用于物理气相传输及其它方法生长制备的碳化硅单晶片。本文件适用于在室温下碳化硅单晶片的正晶向和偏角度的摇摆曲线检测。
国宏中宇科技发展有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、中科钢研节能科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、北京三平泰克科技有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、芜湖启迪半导体有限公司、中国科学院半导体研究所
刘素娟、鲍慧强、李龙远、王锡铭、赵然、赵子强、刘春俊、闫方亮、郑红军、王文军、钮应喜、刘兴昉、刘祎晨
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/NXCL 011-2022 | 窑具用碳化硅微粉技术规范 | 现行 | 2022-11-18 | 2022-11-18 |
| T/SDAMA 008-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟 | 现行 | 2025-03-17 | 2025-03-17 |
| T/CASAS 048-2025 | 碳化硅单晶生长用等静压石墨 | 现行 | 2025-04-23 | 2025-04-23 |
| T/SDAMA 010-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-05-30 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-07-01 |
| GB/T 21944.3-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| GB/T 21944.2-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 2480-2022 | 普通磨料 碳化硅 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 42902-2023 | 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 41765-2022 | 碳化硅单晶位错密度的测试方法 | 现行 | 2022-10-14 | 2023-05-01 |
| GB/T 34520.8-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 34520.6-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| JB/T 10044-2015 | 碳化硅特种制品 硅碳管 | 现行 | 2015-10-10 | 2016-03-01 |
| JB/T 10988-2023 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 脱硫喷嘴 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| JB/T 14612-2023 | 碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| JB/T 10152-2023 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 板 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| GB/T 21944.1-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 43885-2024 | 碳化硅外延片 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| GB/T 34520.7-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第7部分：高温强度保留率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 32278-2025 | 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| JC/T 2149-2012 | 高纯碳化硅粉体成分分析方法 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| JC/T 2013-2010 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅板 | 现行 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| JC/T 2212-2014 | 常压固相烧结碳化硅陶瓷热交换管 | 现行 | 2014-05-06 | 2014-10-01 |
| T/ZSSP 0010-2022 | 无骨脆肉鲩鱼柳 | 现行 | 2022-03-17 | 2022-03-17 |