首页/团体标准/制造业/T/SDAMA 008-2025

碳化硅陶瓷晶舟

Silicon carbide ceramic wafer boat

T/SDAMA 008-2025制造业

现行

标准状态

发布日期

2025-03-17

实施日期

2025-03-17

基础信息

标准号

T/SDAMA 008-2025

团体名称

山东省新材料产业协会

包含专利

否

标准分类

国际标准分类号

81.060.30 高级陶瓷

行业分类

C307 陶瓷制品制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。

起草单位

山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东圣诺实业有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、山东依莱特硅业有限公司、山东省新材料产业协会

起草人

王明峰、王东、石金旺、毕见强、周强、赵佳彬、高惠、李伟强、石威、尹东胜、龚红宇、王伟礼、孙国勋、韩桂芳、郝文虎、崔伟、李补忠、刘爱伟、王克、周健华、王改云

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