主要技术内容
本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。
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Silicon carbide ceramic wafer boat
现行
2025-03-17
2025-03-17
T/SDAMA 008-2025
山东省新材料产业协会
否
81.060.30 高级陶瓷
C307 陶瓷制品制造
团体标准
本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。
山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东圣诺实业有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、山东依莱特硅业有限公司、山东省新材料产业协会
王明峰、王东、石金旺、毕见强、周强、赵佳彬、高惠、李伟强、石威、尹东胜、龚红宇、王伟礼、孙国勋、韩桂芳、郝文虎、崔伟、李补忠、刘爱伟、王克、周健华、王改云
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CASAS 048-2025 | 碳化硅单晶生长用等静压石墨 | 现行 | 2025-04-23 | 2025-04-23 |
| T/SDAMA 010-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-05-30 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-07-01 |
| GB/T 21944.3-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| GB/T 21944.2-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 2480-2022 | 普通磨料 碳化硅 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 42902-2023 | 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 41765-2022 | 碳化硅单晶位错密度的测试方法 | 现行 | 2022-10-14 | 2023-05-01 |
| GB/T 34520.8-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 34520.6-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| JB/T 10044-2015 | 碳化硅特种制品 硅碳管 | 现行 | 2015-10-10 | 2016-03-01 |
| JB/T 10988-2023 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 脱硫喷嘴 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| JB/T 14612-2023 | 碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| JB/T 10152-2023 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 板 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| GB/T 21944.1-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 43885-2024 | 碳化硅外延片 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| GB/T 34520.7-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第7部分：高温强度保留率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 32278-2025 | 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| JC/T 2149-2012 | 高纯碳化硅粉体成分分析方法 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| JC/T 2013-2010 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅板 | 现行 | 2010-11-10 | 2011-03-01 |
| JC/T 2212-2014 | 常压固相烧结碳化硅陶瓷热交换管 | 现行 | 2014-05-06 | 2014-10-01 |
| JC/T 2656-2022 | 碳化硅陶瓷制品 工业计算机层析成像(CT)检测 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| JC/T 2346-2015 | 碳化硅陶瓷过滤器 | 现行 | 2015-07-14 | 2016-01-01 |
| YB/T 6113-2023 | 电加热炉碳化硅导热体 | 现行 | 2023-07-28 | 2024-02-01 |
| T/HTCMA 083-2022 | 河南道地药材 红花组织培养育苗技术规程 | 现行 | 2022-11-01 | 2023-01-01 |
| T/NAIA 0377-2025 | 牛奶和奶粉中9种青霉素残留量的测定 液相色谱-串联质谱法 | 现行 | 2025-03-17 | 2025-03-31 |
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