Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method
现行
2023-08-06
2024-03-01
GB/T 42902-2023
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
H21
77.040
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| JB/T 14612-2023 | 碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| GB/T 21944.1-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| JB/T 10645-2020 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 烧嘴套 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| JC/T 2516-2019 | 砂磨机用反应烧结碳化硅内衬 | 现行 | 2019-05-02 | 2019-11-01 |
| GB/T 47404-2026 | 碳化硅单晶 | 即将实施 | ||
| SN/T 1039-2020 | 进出口吨包装碳化硅取样制样方法 | 现行 | 2020-08-27 | 2021-03-01 |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| JC/T 2783-2023 | 石墨中碳化硅含量的测定方法 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| T/IAWBS 013-2019 | 半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| GB/T 43885-2024 | 碳化硅外延片 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-07-01 |
| GB/T 2480-2022 | 普通磨料 碳化硅 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| T/SDAMA 010-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-05-30 |
| JB/T 13945-2020 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 匣钵 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| T/IAWBS 016-2022 | 碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法 | 现行 | 2022-03-17 | 2022-03-24 |
| JC/T 2796-2023 | 碳化硅单晶用高纯石墨粉 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| JB/T 8340-2013 | 碳化硅特种制品 重结晶碳化硅热电偶保护管 | 现行 | 2013-04-25 | 2013-09-01 |
| T/NXCL 011-2022 | 窑具用碳化硅微粉技术规范 | 现行 | 2022-11-18 | 2022-11-18 |
| GB/T 42271-2022 | 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| T/IAWBS 001-2021 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2021-09-16 | 2021-09-23 |
| JC/T 2346-2015 | 碳化硅陶瓷过滤器 | 现行 | 2015-07-14 | 2016-01-01 |
| T/CASAS 013-2021 | 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |
| T/SDAMA 008-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟 | 现行 | 2025-03-17 | 2025-03-17 |
| GB/T 25768-2010 | 滚动轴承 滚针和双向推力圆柱滚子组合轴承 | 现行 | 2010-12-23 | 2011-06-01 |