主要技术内容
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。
现行
2021-09-16
2021-09-23
T/IAWBS 001-2021
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
否
29.045
C398 电子元件及电子专用材料制造
团体标准
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司
佘宗静、王大军、彭同华、王波、刘春俊、杨建
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 41153-2021 | 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 34520.9-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第9部分：碳含量 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| T/CASAS 048-2025 | 碳化硅单晶生长用等静压石墨 | 现行 | 2025-04-23 | 2025-04-23 |
| T/IAWBS 016-2022 | 碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法 | 现行 | 2022-03-17 | 2022-03-24 |
| T/IAWBS 013-2019 | 半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| GB/T 34520.7-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第7部分：高温强度保留率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| T/SDAMA 008-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟 | 现行 | 2025-03-17 | 2025-03-17 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-07-01 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| T/ZZB 0686-2018 | 高性能无压烧结碳化硅密封环 | 现行 | 2018-11-02 | 2018-11-30 |
| JB/T 10044-2015 | 碳化硅特种制品 硅碳管 | 现行 | 2015-10-10 | 2016-03-01 |
| GB/T 34520.6-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 21944.1-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分：方梁 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| JB/T 10988-2023 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 脱硫喷嘴 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| JB/T 10645-2020 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 烧嘴套 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| GB/T 47404-2026 | 碳化硅单晶 | 即将实施 | ||
| JB/T 10376-2013 | 碳化硅特种制品 氧化硅结合碳化硅板 | 现行 | 2013-04-25 | 2013-09-01 |
| JB/T 10449-2020 | 碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 方梁 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-06 | 2018-12-17 |
| JB/T 14612-2023 | 碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| GB/T 34520.8-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 34520.4-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第4部分：束丝拉伸性能 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| JC/T 2346-2015 | 碳化硅陶瓷过滤器 | 现行 | 2015-07-14 | 2016-01-01 |
| SN/T 1039-2020 | 进出口吨包装碳化硅取样制样方法 | 现行 | 2020-08-27 | 2021-03-01 |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| T/IAWBS 004-2021 | 电动汽车用功率半导体模块可靠性试验通用要求及试验方法 | 现行 | 2021-09-16 | 2021-09-23 |