主要技术内容
本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。
High purity silicon carbide powder for Silicon carbide ceramic wafer boat
现行
2025-05-30
2025-05-30
本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。
山东圣诺实业有限公司、山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东依莱特硅业有限公司、潍坊新方精细微粉有限公司、山东省新材料产业协会
高惠、周强、郝文虎、王明峰、王东、毕见强、周健华、马运志、赵雷、石金旺、祁丰才、石威、龚红宇、王伟礼、孙国勋
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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