主要技术内容
本标准规定了碳化硅（4H-SiC）外延层载流子浓度的测定方法─汞探针电容－电压法。本标准适用于单层同质碳化硅外延层载流子浓度的测量，要求测量的碳化硅外延层厚度必须大于测试偏压下耗尽层的宽度。载流子浓度测量范围为：1×1014 cm-3 ～5×1017 cm-3。本标准也可适用于碳化硅衬底载流子浓度的测量。
Silicon carbide epitaxial layers—Determination of carrier concentration—Mercury probe capacitance-voltages method
现行
2017-12-20
2017-12-31
T/IAWBS 003-2017
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
否
29.045
C398 电子元件及电子专用材料制造
团体标准
本标准规定了碳化硅（4H-SiC）外延层载流子浓度的测定方法─汞探针电容－电压法。本标准适用于单层同质碳化硅外延层载流子浓度的测量，要求测量的碳化硅外延层厚度必须大于测试偏压下耗尽层的宽度。载流子浓度测量范围为：1×1014 cm-3 ～5×1017 cm-3。本标准也可适用于碳化硅衬底载流子浓度的测量。
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、全球能源互联网研究院、东莞天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所
冯淦、陈志霞、钮应喜、张新河、李赟、陆敏、彭同华、刘振洲
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 21944.2-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-07-01 |
| GB/T 34520.9-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第9部分：碳含量 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| T/IAWBS 013-2019 | 半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| GB/T 37254-2018 | 高纯碳化硅 微量元素的测定 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-09-01 |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| YB/T 4666-2018 | 矿热炉用碳化硅炭砖 | 现行 | 2018-10-22 | 2019-04-01 |
| JB/T 10645-2020 | 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 烧嘴套 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| GB/T 21944.3-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒 | 现行 | 2022-07-11 | 2023-02-01 |
| T/CASAS 013-2021 | 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法 | 现行 | 2021-11-01 | 2021-12-01 |
| YB/T 6113-2023 | 电加热炉碳化硅导热体 | 现行 | 2023-07-28 | 2024-02-01 |
| JB/T 10449-2020 | 碳化硅特种制品 重结晶碳化硅 方梁 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-10-01 |
| SN/T 1039-2020 | 进出口吨包装碳化硅取样制样方法 | 现行 | 2020-08-27 | 2021-03-01 |
| SJ/T 11501-2015 | 碳化硅单晶晶型的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| JB/T 10376-2013 | 碳化硅特种制品 氧化硅结合碳化硅板 | 现行 | 2013-04-25 | 2013-09-01 |
| GB/T 34520.6-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第6部分：电阻率 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| JB/T 14612-2023 | 碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法 | 现行 | 2023-12-29 | 2024-07-01 |
| GB/T 34520.8-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第8部分：氧含量 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| JB/T 13945-2020 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 匣钵 | 现行 | 2020-04-16 | 2021-01-01 |
| GB/T 34520.4-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第4部分：束丝拉伸性能 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| JB/T 13309-2017 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅内衬与钢壳复合装置 | 现行 | 2017-11-07 | 2018-04-01 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| JB/T 3890-2017 | 碳化硅特种制品 硅碳棒 | 现行 | 2017-11-07 | 2018-04-01 |
| T/SDAMA 008-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟 | 现行 | 2025-03-17 | 2025-03-17 |
| T/JSAS 001-2017 | 晶体硅光伏组件包装运输试验规范 | 现行 | 2017-12-20 | 2018-07-01 |