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碳化硅单晶片平整度测试方法

Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 32278-2015推荐性国家标准

废止

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更新日期：2026-07-27
碳化硅单晶片平整度测试

标准状态

发布日期

2015-12-10

实施日期

2017-01-01

基础信息

标准号

GB/T 32278-2015

批准发布部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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