碳化硅单晶晶向的测试方法

SJ/T 11500-2015 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 11500-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

标准类别

方法标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50557-2015

备案日期

2015-07-08

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

丁丽、郝建民、周智慧 等

SJ/T 11500-2015 相关专题

SJ/T 11500-2015 相似标准

标准号 标准名称 状态 发布日期 实施日期
JC/T 2149-2012 高纯碳化硅粉体成分分析方法 现行 2012-12-28 2013-06-01
JB/T 14612-2023 碳化硅特种制品 硅碳棒电加热加速老化试验方法 现行 2023-12-29 2024-07-01
GB/T 43885-2024 碳化硅外延片 现行 2024-04-25 2024-11-01
SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 现行 2015-04-30 2015-10-01
JB/T 3890-2017 碳化硅特种制品 硅碳棒 现行 2017-11-07 2018-04-01
JB/T 13945-2020 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 匣钵 现行 2020-04-16 2021-01-01
T/CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨 现行 2025-04-23 2025-04-23
GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法 现行 2022-12-30 2023-04-01
T/IAWBS 001-2017 碳化硅单晶 现行 2017-12-20 2017-12-31
YB/T 4666-2018 矿热炉用碳化硅炭砖 现行 2018-10-22 2019-04-01
JC/T 2346-2015 碳化硅陶瓷过滤器 现行 2015-07-14 2016-01-01
JB/T 10044-2015 碳化硅特种制品 硅碳管 现行 2015-10-10 2016-03-01
JB/T 10152-2023 碳化硅特种制品 氮化硅结合碳化硅 现行 2023-12-29 2024-07-01
JC/T 2013-2010 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 现行 2010-11-10 2011-03-01
JC/T 2783-2023 石墨中碳化硅含量的测定方法 现行 2023-12-20 2024-07-01
T/IAWBS 014-2021 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法 现行 2021-09-15 2021-09-22
T/IAWBS 013-2019 半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法 现行 2019-12-27 2019-12-31
GB/T 21944.1-2022 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第1部分:方梁 现行 2022-03-09 2022-10-01
GB/T 21944.4-2022 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分:烧嘴套 现行 2022-07-11 2023-02-01
JC/T 2796-2023 碳化硅单晶用高纯石墨粉 现行 2023-12-20 2024-07-01
T/NXCL 011-2022 窑具用碳化硅微粉技术规范 现行 2022-11-18 2022-11-18
JB/T 10376-2013 碳化硅特种制品 氧化硅结合碳化硅 现行 2013-04-25 2013-09-01
GB/T 21944.2-2022 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分:异形梁 现行 2022-07-11 2023-02-01
GB/T 2480-2022 普通磨料 碳化硅 现行 2022-03-09 2022-10-01
T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 现行 2017-12-20 2017-12-31
HG/T 5595-2019 烯烃聚合催化剂粒度分布的测定 激光衍射法 现行 2019-12-24 2020-07-01